Trung Quốc sản xuất máy quang khắc DUV

Thứ 4: 17:57 ngày 29/07/2026

Trung Quốc được cho là đang sản xuất máy quang khắc cực tím sâu (DUV), thiết bị rất quan trọng trong chế tạo chip, và sẽ giao hàng trong năm nay.

The Information dẫn nguồn tin thân cận cho biết, quá trình sản xuất có sự tham gia của các nhóm phát triển DUV từ nhiều công ty Trung Quốc, trong đó có startup được nhà nước hỗ trợ Shanghai Yuliangsheng Technology. Sản phẩm là máy DUV kiểu nhúng, với mục tiêu sản lượng năm nay là 5 máy và năm sau khoảng 20 máy.

Trụ sở của SMIC tại Thượng Hải năm 2020.

Những cỗ máy đầu tiên dự kiến bàn giao cho SMIC, Hua Hong Semiconductor và CXMT. Cả ba công ty này đều nằm trong danh sách doanh nghiệp Trung Quốc mà công ty Hà Lan ASML có thể không được phép bán thiết bị và cung cấp dịch vụ, theo một dự luật đang được xem xét.

Nguồn tin cho biết, SMIC đã thử nghiệm DUV nhúng của Shanghai Yuliangsheng Technology từ tháng 9/2025. Đa số linh kiện nội địa, dù một số bộ phận quan trọng vẫn nhập từ Nhật Bản. Sự chậm trễ từ các nhà cung cấp địa phương cũng ảnh hưởng đến sản lượng máy năm nay.

Máy quang khắc đảm nhận việc chiếu và khắc mạch điện lên wafer (tấm silicon mỏng dùng làm vật liệu nền), đóng vai trò rất quan trọng trong sản xuất chip. Theo Tom's Hardware, công nghệ DUV nhúng in các chi tiết loại 28 nm với một lần phơi sáng và đạt 7 nm nhờ kỹ thuật in nhiều mẫu (multi-patterning), nhưng phải đánh đổi bằng sai số chồng lớp lớn hơn và tỷ lệ thành phẩm giảm.

Trong cuộc họp tháng này, CEO ASML Christophe Fouquet cho biết, cường độ quang khắc DRAM ngày càng tăng phần nào phản ánh việc khách hàng đang thay thế kỹ thuật in nhiều mẫu bằng công nghệ quang khắc siêu cực tím (EUV) phơi sáng một lần với chi phí thấp hơn.

ASML là nhà sản xuất thiết bị làm chip lớn nhất toàn cầu theo vốn hóa thị trường, đồng thời đang là công ty duy nhất làm chủ công nghệ EUV. Máy EUV có giá tới 250 triệu USD, giúp chế tạo những chip tiên tiến nhất thế giới do các công ty như Nvidia, AMD, thiết kế và các nhà làm chip như TSMC, Intel, Samsung sản xuất.

Theo Tom's Hardware, ngành chip Trung Quốc gặp nhiều khó khăn do lệnh trừng phạt từ Mỹ, vốn không chỉ nhắm vào máy EUV mà còn cả DUV. Bị hạn chế tiếp cận máy móc tiên tiến từ ASML, Trung Quốc nỗ lực tìm cách tự chủ hoàn toàn về chip.

Reuters cuối năm ngoái đưa tin, Trung Quốc đã chế tạo nguyên mẫu máy EUV, với chiếm gần hết diện tích của một nhà máy và đang chạy thử nghiệm. Theo nguồn tin, nó tạo thành công ánh sáng siêu cực tím nhưng chưa sản xuất được chip hoạt động hoàn chỉnh.

Dù vậy, phân tích độc lập từ tổ chức nghiên cứu AI Futures Project nhận định, Trung Quốc khó sản xuất được máy DUV nhúng ở quy mô thương mại trước 2035. Việc kiểm định máy móc mới để đưa vào dây chuyền có thể mất nhiều tháng, trong khi sản phẩm của Trung Quốc nhiều khả năng vẫn kém chất lượng so với ASML, vốn đang chiếm tới 98,7% thị phần.